產(chǎn)品規(guī)格

測(cè)量精度：WSI:＜0.5nm PSI：＜0.1nm

工作臺(tái)面：610×610mm （可定制）

掃描范圍：0-270um（Z方向）

光學(xué)放大倍數(shù)：X5 , X10 , X20 , X50

產(chǎn)品特點(diǎn)

高精度快速測(cè)量

優(yōu)越的重復(fù)性和再現(xiàn)性

有實(shí)驗(yàn)室量測(cè)，產(chǎn)線全自動(dòng)量測(cè)滿足需求

報(bào)告生成，數(shù)據(jù)反饋功能